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應(yīng)用領(lǐng)域：面板、太陽能、冶金系統(tǒng)、鍍膜、電漿制程、干燥處理、制程氣體抽取、生技/制藥、化工產(chǎn)業(yè)等。

PD系列技術(shù)參數(shù)表：